|
序號 |
故障原因 |
產(chǎn)生原因 |
原因以及排除方法 |
|
1 |
蝕刻深度不夠 |
蝕刻溫度太低 |
加溫蝕刻液 |
|
蝕刻時間太短 |
適當(dāng)延長蝕刻時間 |
||
|
蝕刻溶液老化，濃度低 |
增加新的蝕刻液 |
||
|
2 |
防蝕層脫落 |
蝕刻液溫度太高 |
降低蝕刻液溫度 |
|
防蝕層制作不良 |
加強蝕刻制作管理 |
||
|
油墨存放時間過長，失效 |
更換新油墨 |
||
|
二次曝光時間太短 |
延長二次曝光時間 |
||
|
顯影后烘烤溫度太低或時間太短 |
提高烘烤溫度或延長時間 |
||
|
預(yù)處理不良 |
加強質(zhì)量管理 |
||
|
3 |
防蝕層邊緣變脆起層 |
二次曝光時間太長 |
適當(dāng)縮短二次曝光時間 |
|
4 |
蝕刻表面有印跡 |
酸洗溶液氟化物含量不夠 |
添加氟化物 |
|
酸洗時間太短 |
延長酸洗時間 |
||
|
蝕刻溶液失調(diào) |
分析蝕刻溶液 |
||
|
材料質(zhì)量原因 |
更換材料 |
||
|
5 |
平滑度差 |
雜質(zhì)含量太高 |
更換溶液 |
|
三氯化鐵質(zhì)量差 |
選擇質(zhì)量好的三氯化鐵 |
||
|
活化不良 |
加強活化過程 |
||
|
添加劑含量不足 |
定期補加添加劑 |
||
|
氯離子濃度太高 |
添加硝酸或硝酸氨 |
||
|
磷酸離子濃度低 |
添加磷酸 |
||
|
材料晶粒粗大 |
更換材料 |
